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用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級
擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵???啥ㄖ苹O(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類安裝空間。
工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?啥ㄖ苹O(shè)計(jì),靈活適應(yīng)各類安裝空間。
墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝,使其成為 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護(hù)敏感氣體成分。
墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝,使其成為 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護(hù)敏感氣體成分。
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